DOE衍射光學(xué)元件(Diffractive Optical Elements)是基于光的衍射原理,利用特殊的衍射設(shè)計軟件進(jìn)行設(shè)計,并通過傳統(tǒng)半導(dǎo)體芯片制成工藝或者納米壓印,納米注塑工藝,在玻璃,塑料基片上(或傳統(tǒng)光學(xué)器件表面)刻蝕產(chǎn)生臺階型或連續(xù)浮雕結(jié)構(gòu)(一般為光柵結(jié)構(gòu)),形成同軸再現(xiàn)、且具有極高衍射效率的一類光學(xué)元件。DOE通過不同的設(shè)計可控制光束的發(fā)散角和形成光斑的形貌,實(shí)現(xiàn)輸出光束形成特定圖案的功能。